流量传感器的电容值与电ji材料无关，只取决于电ji的几何尺寸，空气等介质损耗很小。因此，只要考虑强度、温度系数等力学特性，就可以合理选择材料和结构尺寸，其他因素(由于发热ji小)影响不大。电阻传感器有电阻，供电后发热；电感传感器有铜损耗、磁漂移和涡流损耗，导致自身发热和零点漂移。
流量传感器结构简单，易于制造，容易保证高精度，能够在高温、低温、强辐射、强磁场等各种恶劣环境条件下工作，适应性强。特别是能承受较大的温度变化，能在高压、高冲击、过载下正常工作，能测量高低压差，还能测量磁性工件。此外，传感器可以做得很小，以实现特殊要求的测量。
流量传感器固有频率高，即动态响应时间短，且由于其介电损耗低，可以较高的频率上电，因此系统具有较高的工作频率。可用于测量高速变化的参数，如测量振动和瞬时压力。
当被测零件无法接触测量时，流量传感器即可完成测量任务。采用非接触测量时，流量传感器具有平均效应，可以减少工件表面粗糙度对测量的影响。
除了上述优点外，流量传感器在带电板之间的静电引力非常小，输入的力和能量也非常小，因此可以测量ji低的压力、力、小的加速度和位移等。它可以非常灵敏，具有高分辨率，并且可以对0.01um或更小的位移敏感。由于其空气等介质损耗低，差分结构桥接时产生的零残留ji小，因此电路允许高放大倍数放大，使仪器具有高灵敏度。