从物理学的角度来看,声波属于声音的范畴,是机械波的一种。人类能听到的声波频率范围是16Hz到20KHz。如果声波的频率低于16Hz,称为次声波;如果高于20KHz,则称为超声波。因为超声波的zui低频率约等于人类的zui高听觉频率,所以得名。超声波定向性能好,穿透能力强,在水中容易获得集中的声能,传播距离长,可用于测距测速、清洗、焊接、破碎、杀菌消毒等。根据原理,声波可以分为探测超声波和功率超声波。在医学、军事、工业和农业中有许多应用。声波是物体机械振动并传递能量的一种形式。所谓振动是指物质颗粒在接近平衡位置时的往复运动。例如,鼓表面被撞击后,鼓表面上下振动,振动状态通过空气、液体或固体四处传播,从而产生声波。人们听不到频率高于20KHZ的声波,所以称之为超声波。超声波和可听声其实是一致的,它们的主要特征是机械振动,这是一种能量传递的形式。不同的是超声波频率高,波长短。在一定范围内,线性传播具有优良的可射性和方向性。目前用于腹部超声成像的频率范围是2MHZ到5MHz,zui常用的是3MHz到3.5MHz(粒子每秒振动一次是1Hz,1MHz=106Hz,即每秒振动100万次)。
全球微流量传感器市场在一波又一波的技术创新和需求升级中呈现快速增长态势。在目前的微流量传感器行业中,随着MEMS技术与其他技术手段的结合,微流量传感器已经开始向智能化、小型化、低功耗方向发展。
燃气微流量传感器一直是微流量传感器行业的重要细分。根据技术原理,气体微流量传感器可分为半导体气体微流量传感器、催化燃烧气体微流量传感器、电化学气体微流量传感器、光学气体微流量传感器等多种类型。目前,气体微流量传感器的主要技术是半导体、电化学和光学。
低功耗一直是微流量传感器行业关注的焦点,随着市场需求,原本单一用途的gas微流量传感器开始向多功能yitihua发展。单一的功能气体微流量传感器逐渐被复合气体微流量传感器取代,出现了需要检测多组分气体的各种特性,包括浓度、流量、温度、湿度和压力,而不是只检测一个指标。新材料和MEMS技术的突破也将微流量传感器推向了小型化。目前,气体微流量传感器通常需要将气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿和数字接口集成在一个非常小的封装中。