随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展,流量传感器的市场份额将以36个点左右的复合年增长率(CAGR)增长,预计2020年将达到104.6亿美元。流量传感器由传感元件、信号调理电路和控制器(或处理器)组成,具有数据采集、转换、分析甚至决策的功能。智能化可以提高流量传感器的精度,降低功耗和体积,使组网更加容易,从而扩大流量传感器的应用范围,使其发展更加迅速有效。
流量传感器主要基于硅材料微加工和CMOS电路集成技术。按照制造工艺,流量传感器可以分为三类:MEMS、CMOS和光谱学。并且MEMS和CMOS技术易于低成本实现批量生产,流量传感器元件、偏置和调理电路甚至超大规模电路可以集成在同一衬底或同一封装中,使器件具备多种检测功能和数据智能处理功能。比如利用霍尔效应检测磁场、塞贝克效应检测温度、压阻效应检测应力、光电效应检测光的智能器件。
智能化、小型化、仿生化是流量传感器未来的发展趋势。目前除了霍尼韦尔、博世等老牌流量传感器厂商外,国外一些主流的模拟器件厂商也进入了流量传感器行业,如美国飞思卡尔半导体公司、ADI公司(ADI)、德国英飞凌科技有限公司、意法半导体公司(ST)等。这些公司的流量传感器已经广泛应用于人们的日常生活中,如智能手机、智能家居、可穿戴设备等。在工业控制设施、智能建筑、医疗设备及器材、物联网、检验检测等工业领域发挥着重要作用。它还广泛应用于监视和瞄准等军事领域。