热质流量传感器能以相对简单的结构jingque测量过程气体的质量流量,因此广泛应用于医疗、汽车、食品等气体监测和测量领域。其实用来测量气体流量的传感器有很多种,比如关断流量传感器,叶轮流量传感器,等等。它们大多采集流体的温度、压力等信号,然后转换成流量。近年来,市场上各种质量流模块层出不穷。然而,这些流模块的包装是基于传统的包装方法。无论是关断流量传感器、叶轮流量传感器还是质量流量模块,相应的测量技术都存在不足。
截距流量传感器,叶轮流量传感器由于气体流动状态不稳定,其流量测量精度受到影响。热质流量传感器的出现给流量传感器带来了一场革命,实现了直接测量流体质量流量的目的,测量值不会因为温度或压力的波动而不准确。
流动模块通常在流量传感器芯片上预蚀刻流体流动通道,然后将流量传感器芯片粘合剂粘到PCB板上的凹坑上。由于这一系列工艺基本需要人工完成,核心芯片的胶量和角度偏差难以有效控制,导致每个流量传感器chip封装的实际流道大小不一,会不同程度地影响流模块的性能。而且在这种传统的封装方式中,大量的工艺步骤基本都是手工完成,不仅导致封装效率低,而且导致成本相对较高。